芯源微3月9日晚發布2021年年報。報告期內，公司實現營業收入8.29億元，同比增長151.95%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤7734.95萬元，同比增長58.41%。公司擬每10股派發現金紅利3元（含稅）。

芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售業務。報告期內，芯源微持續加大自主研發力度，在核心零部件和單元技術、整機產品研發等方面取得實質性進展，全年研發支出9249.96萬元，同比增長103.68%。

對于2022年重點工作，芯源微表示，公司將進一步鞏固傳統優勢領域，積極開拓中國臺灣地區及海外市場。值得一提的是，在化合物等小尺寸領域，4至6英寸化合物半導體市場正在迅速崛起，MiniLED等新一代顯示技術也趨于成熟，這將成為未來小尺寸領域行業發展的重要驅動力。芯源微緊緊抓住小尺寸領域的行業發展方向，積極推出適用于新興領域的半導體設備。此外，將積極建立海外銷售體系，培育和拓展海外市場，為公司發展創造新的增長點。

芯源微表示，公司將抓住前道發展機遇，加大研發投入，聚焦前道涂膠顯影設備和單片式清洗設備領域；建立測試驗證平臺，縮短研發周期和客戶端驗證周期；進一步完善公司供應鏈建設，不斷提升產品競爭力。